Informacje ogólne

• System wykorzystujący dwa detektory - SE i BSE do analizy obrazu SEM, zapewniając wszechstronne możliwości badania szerokiej gamy typów próbek
• Oba tryby próżni - wysokiej i niskiej (z redukcją napięcia) są standardem, umożliwiając analizę nieprzewodzących próbek bez powłoki metallicznej
• Łatwość użytkowania:
• - Autokalibracja: ostrość, kontrast, jasność
• - Tryb podwójnego widoku: jednoczesny podgląd SE/BSE
• Wygoda dzięki możliwym przesunięciom pola roboczego w 3 osiach i prosta obsługa za pomocą myszki
• Możliwość analizy i zapisania obrazów SE/BSE w tym samym pliku w trybie podwójnego obrazu
• Powiększenie: 20 - 60 000x
• Napięcie przyspieszające: 1~30kV (1/5/10/15/20/30)
• Detektor:
• - Elektrony wtórne (SE)
• - Elektrony wstecznie rozproszone (BSE)
• Działo elektronowe: Wstępnie wyśrodkowany wkład z filamentu wolframowego
• Zakres przesuwu uchwyty preparatowego:
• - System 3 - osiowy (X, Y, R, Z, T – Manualnie)
• - Osie X, Y: 35 mm/Oś R: 360°
• - Przesunięcie obrazu: ±150µm CCD
• - Kamera zainstalowana w komorze
• - Oś T : 0 - 45° (opcjonalnie)
• Maks. wielkość próbki: 70 mm (średnica) x 30 mm (wysokość)
• Funkcja automatyzacji: Auto Start, Auto Focus, Auto Stygmator, Auto Kontrast i Jasność
• Format obrazu: BMP, JPEG, PNG, TIFF
• Tryb próżniowy: Wysoka i niska próżnia
• Pompa próżniowa:
• - Pompa rotacyjna
• - Turbo pompa molekularna (Pełna automatyzacja)
• Wymiary:
• - Główna jednostka: 390x380x560 mm (masa: 83 kg)
• - Jednostka kontrolna: 390x325x560 mm (masa: 37 kg)
• - Pompa rotacyjna: 400x160x340 mm (masa: 24 kg).