Informacje ogólne

• Wysoka zdolność rozdzielcza systemu pozwala na inspekcję próbek w czasie rzeczywistym i osiągnięcie powiększenia rzędu nawet do 100 000x
• Uzyskanie wysokiej jakości obrazów wyjątkowo małych elementów i cząstek jest możliwe dzięki zastosowaniu standardowej zmiennej przysłony zmiennej (30, 50, 100 µm) i optymalnego pozycjonowania próbki z dookólnym 5 - osiowym zakresem ruch uchwytu preparatowego
• Łatwość użytkowania:
• - Autokalibracja: ostrość, kontrast, jasność
• - Simple S/W: convenient operation
• Jedyny nastołowy, 5 - osiowy SEM, o prostej obsłudze, nieograniczonym ruchu pola roboczego, obsługiwany myszką
• Możliwość przeprowadzania różnego typu pomiarów i analiz za pomocą szerokiego zakresu trybów
• Powiększenie: 20x - 100 000x
• Napięcie przyspieszające: 1 - 30kV (1/5/10/15/20/30)
• Detektor: Elektrony wtórne (SE)
• Działo elektronowe: Wstępnie wyśrodkowany wkład z filamentu wolframowego
• Zakres przesuwu uchwytu preparatowego:
• - System 5 - osiowy (X, Y, R, Z, T - manualnie)
• - Osie X, Y: 40 mm / Oś R: 360°
• - Oś Z: 0 - 35 mm/Kąt pochylenia: 0 - 45°
• - Przesunięcie obrazu: ±150µm
• Maks. wielkość próbki: 80 mm (średnica) x 35 mm (wysokość)
• Funkcja automatyzacji: Auto Start, Auto Focus, Auto Stygmator, Auto Kontrast i Jasność
• Format obrazu: BMP, JPEG, PNG, TIFF
• Tryb próżniowy: Wysoka próżnia (opcja niskiej próżni)
• Pompa próżniowa:
• - Pompa rotacyjna
• - Turbo pompa molekularna (Pełna automatyzacja)
• Wymiary:
• - Główna jednostka: 390x380x560 mm (masa: 88 kg)
• - Jednostka kontrolna: 390x325x560 mm (masa: 97 kg)
• - Pompa rotacyjna: 400x160x340 mm (masa: 24 kg).